微流控玻璃芯片加工工艺及常用设备
玻璃具有良好的热传导性质和稳定的电渗性质,因此在实际应用中,玻璃芯片是分析、电泳平台中常用的媒介。 可以用于蛋白质、核算以及细胞内的生物组分和标记物的检测。 在玻璃微流控芯片内能够完成样品的前处理过程,通过在芯片内建造微结构、微通道实现,比如固相萃取、分离、混纯混合等过程。 1. 玻璃芯片的制作工艺 玻璃芯片的制作工艺主要包括等离子刻蚀、湿法刻蚀、飞秒激光刻蚀、反应离子刻蚀等,这些方法都沿用了微电子加工工艺。 应用最为广泛的是紫外光刻技术与湿法刻蚀技术相结合,这种方法可以在普通实验室内完成,玻璃芯片的加工过程如下图所示。 2. &nbs…