微流控反馈控制系统三大元件——微阀

微阀介绍 微阀是最重要的微流控元件之一。除了泵和流量传感器之外，有源微阀是控制微流体系统中流体流量的关键部件。尤其是在各种化学、分析和生物检测中，微阀被认为是进行片上流动操作的重要组件。 如今，由于微尺度的新发展，微流体系统的各个行业不断迫使阀门设计发展和改革。 芯片上高密度集成微阀所需的更小的器件尺寸、更高的压力、高可靠性、制造成本、生物相容性、响应速度，以及最重要的微技术，这些因素都在促进微尺度阀门设计的发展。根据结构，微阀可分为有源微阀和无源微阀两种。 有源微阀需要用驱动装置来控制微流体，而无源微阀一般可以通过背压来控制微流体。 在传统设计中，有源微阀是一种含压机械装置，用于关闭或以其他…