An overview of MEMS manufacturing processes
MEMS加工工艺是MEMS技术最为重要的研究方向,MEMS加工工艺主要包括体微加工、表面微加工和光刻、电镀、铸塑工艺(LIGA)。 受限于LIGA工艺的高制造成本,目前应用最广的加工工艺为体微加工、表面微加工两种。 1. MEMS制造工艺的方法和材料 MEMS制造技术是在集成电路(IC)制造技术的基础上,结合微加工技术的进步逐步发展起来的。 与集成电路制造相比,MEMS器件具有三维微结构和可动部件,制造工艺更为复杂。 由于MEMS器件的功能差异,结构形式各不相同,常见的特点包括悬空结构和高深宽比,因此没有单一的制造工艺能满足所有类型的MEMS器件需求。 ME…