台阶仪

布鲁克Bruker 台阶仪

Bruker Dektak 150 测量原理:接触式探针扫描(机械探针+光学传感协同)。 核心功能:高精度表面台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、沟槽深度等形貌参数测量,兼容4/6/8英寸晶圆及不规则样品。 规格参数: 型号 Dektak150(中…

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Veeco 台阶仪

Veeco Dektak XT 测量原理:接触式探针扫描(机械探针+光学传感协同)。 核心功能:高精度表面台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、沟槽深度等形貌参数测量,兼容4/6/8英寸晶圆及不规则样品。 规格参数: 型号 DektakXT(旗舰) …

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