膜厚仪
型号：K-MAC ST2000-DLX 制造商：K-MAC 测量原理：基于分光反射法（Spectroscopic Reflectometry） 通过分析反射光谱或偏振光变化计算薄膜厚度及光学常数（n/k）。 核心优势：高精度、非接触测量，适…
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布鲁克Bruker 台阶仪
Bruker Dektak 150 测量原理：接触式探针扫描（机械探针+光学传感协同）。 核心功能：高精度表面台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、沟槽深度等形貌参数测量，兼容4/6/8英寸晶圆及不规则样品。 规格参数： 型号 Dektak150（中…
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