等离子清洗机
用于将聚二甲基硅氧烷(PDMS)与自身或者其他材料(如玻璃、硅片)紧密粘合形成微通道。 规格参数: •腔体材质:石英 •供电电源:AC220V •工作电流:整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵) •射频电源功率:0-200W可调 •射频频率:20.0MHz(偏移量小于0.2KHz) •特性阻抗:50欧姆,自动匹配 •真空度:10pa-30Pa •气体路数:双路气体输入 •气体流量:10~160ml/min(可调) •过程控制:PLC人机自动与手动方式 •清洗时间:1-6000秒钟可调 •功率大小:10%-100%可调 •内腔尺寸:直径150mm×270mm •外形尺寸:600mmx500x4…