SVS匀胶机
1.占地小、稳定性高、操作与维护方便 2.产能高,涂胶机产能大于160片/小时 3.光刻胶用量小,薄胶4寸用量0.5ml 4.优异的流场设计,涂胶均匀性好。 规格参数: •1. 匀胶单元(COAT) •数量:标配3个工位 •转速范围: •自转:100-5000 RPM(闭环精准控制) •膜厚均匀性:±2%(@5000 RPM) •2. 烘胶单元(热盘/冷盘) •热盘数量:6个独立温控工位 •温度范围: •热盘:室温~300℃(±1℃) •冷盘:10℃~室温 •加热速率:3分钟内升至200℃ •3. 滴胶系统 •滴胶量范围:0.1mL~10mL(可调) •滴胶精度:±1%(高精度定量泵) •滴胶…