铌酸锂声表面波微流控芯片-加工实例
1. 芯片简介 基于不同的操控机理,使用微流控芯片操控微流体的主要方法有:电泳、介电泳、电渗、光镊与磁力驱动(EWOD)等。 但这些方法都存在一些局限性,例如器件结构复杂,生物相容性低等。 声表面波(SAW)技术的出现,在微流控领域引起了广泛关注,声表面波微流控技术的基本原理是,以压电材料铌酸锂(LiNbO3)作为基底,在其表面沉积一对叉指电极,在电极上施加射频信号,产生沿压电基底表面传播的声波。 利用表面声波产生的声辐射力,可用来控制微液体或微颗粒,用以分离、提取或富集特定的样本进行高效检测。 其器件结构示意图如下图所示。 2. &n…