等离子清洗机

用于将聚二甲基硅氧烷（PDMS）与自身或者其他材料（如玻璃、硅片）紧密粘合形成微通道。

规格参数：

•腔体材质：石英

•供电电源：AC220V

•工作电流：整机工作电流不大于1.2A（不含真空泵）

•射频电源功率：0-200W可调

•射频频率：20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）

•特性阻抗：50欧姆，自动匹配

•真空度：10pa-30Pa

•气体路数：双路气体输入

•气体流量：10~160ml/min(可调)

•过程控制：PLC人机自动与手动方式

•清洗时间：1-6000秒钟可调

•功率大小：10%-100%可调

•内腔尺寸：直径150mm×270mm

•外形尺寸：600mmx500x480mm

•重量：45Kg

•真空泵：抽速4L/S

•真空室温度：小于30°C

•冷却方式：强制风冷