微流控芯片常见材质及其性能
微流控芯片是基于微机电系统(micro electro mechanical system, MEMS)发展而来,通过微加工技术将微通道、微阀、微泵和微电极等不同功能的微型元器件集成在一起构成的微全分析系统。 芯片材料作为微流控芯片的载体,决定了芯片的加工难度、精度、功能以及成本。选择芯片材料时一般要考虑其化学和生物兼容性、电绝缘性、散热性、可修饰性、光学性能、材料和加工成本等。 微流控芯片的制作材料选择是关键性的决定因素。最初,硅材料由于其优越的特性在微流控芯片制备中占据主导地位,但随着应用场景的多样化,硅材料的局限性逐渐显露,特别是其不能耐受高压和无法兼容光学检测技术的缺陷。 为了克服这些…