SVS显影机
1.占地小、稳定性高、操作与维护方便 2.产能高,产能大于200片/小时 3.3种试剂管路 4.自动烘干。 规格参数: •1. 匀胶单元(COAT) •数量:标配3个工位 •转速范围: •自转:100-5000 RPM(闭环精准控制) •膜厚均匀性:±2%(@5000 RPM) •2. 烘胶单元(热盘/冷盘) •热盘数量:6个独立温控工位 •温度范围: •热盘:室温~300℃(±1℃) •冷盘:10℃~室温 •加热速率:3分钟内升至200℃ •3. 管路系统 •胶液管路:输送光刻胶、PI等涂层材料(防腐蚀设计) •溶剂管路:用于基片预湿或边缘清洗(兼容丙酮、乙醇等) •去离子水管路:基片冲洗或…