微流控声流体芯片材料性能对比研究：硅、玻璃、FR4 与聚合物材料的全面评估

1.    研究背景与核心目标

在微流控技术领域，声流体操控（acoustophoresis）凭借易实现、成本可控、操控范围广等优势，已广泛应用于血液成分分离、循环肿瘤细胞分选、3D 细胞图案化等场景，成为细胞分选芯片、器官芯片等高端微流控设备的核心技术之一。然而，声流体芯片的性能高度依赖芯片材料选择 —— 传统声学硬材料（如硅、玻璃）虽具备优异的声学传输效率，但需依赖洁净室 MEMS 加工工艺（如深硅刻蚀、光刻、阳极键合），材料与制备成本高，不利于规模化量产；而聚合物材料（如 PDMS、PMMA）虽可通过 PDMS 模具成型、 micromachining 等简易工艺制备，却因声学阻抗低、阻尼高导致声学性能弱，且热传导差易影响细胞活力，难以满足细胞培养芯片的长期使用需求。

针对这一行业痛点，《Ultrasonics》期刊 2023 年发表的研究（Hande N. Açıkgöz 等）首次将 FR4（玻璃纤维增强环氧材料，常用于 PCB 基板）引入声流体芯片领域，系统评估了硅、玻璃、FR4、PDMS、PMMA 五种材料的声学性能、制备难度、热稳定性及细胞兼容性，旨在为微流控声流体设备的商业化提供材料选择指南，填补了不同芯片材料多维度性能对比的研究空白。

组装好的声泳设备的CAD图纸：（A）分解图，（B）采用透明芯片材料的设备，（C）采用不透明芯片材料的设备的俯视图和仰视图。

2.    实验设计：材料选择与制备工艺

1)    核心材料清单与特性

研究选取五种代表性微流控芯片材料，覆盖声学硬材料、聚合物材料及新型复合材，具体特性如下：

• 硅：典型声学硬材料，声学阻抗高、阻尼低，需通过等离子刻蚀（MEMS 加工核心工艺）制备微通道，配合光刻定义图形与阳极键合封盖，确保微通道精度（宽度 1.0mm、高度 0.2mm）；
• galss：声学性能与硅接近，采用化学刻蚀工艺加工微通道，适合对透光性有需求的观测场景（如细胞动态追踪）；
• FR4：首次应用于声流体芯片的复合材，由环氧树脂（声学软相）与玻璃纤维（声学硬相）组成，通过自动化 micromachining 工艺加工，无需洁净室环境；
• PMMA：聚合物材料，具备良好透光性，采用 micromachining 工艺快速制备微通道，适配微流控芯片量产中的低成本需求；
• PDMS：实验室常用快速原型材料，通过 molding 工艺（依赖光刻胶模具或硅模具）制备，需配套 PDMS 键合对准平台确保封装精度，但其声学与热性能较差。

采用多种芯片材料制造的组装式声泳器件（A）硅、（B）玻璃、（C）FR4、（D）聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、（E）聚二甲基硅氧烷（PDMS，单压电陶瓷片）和（F）聚二甲基硅氧烷（PDMS，双压电陶瓷片）。

2)    制备工艺与设备适配

五种材料的制备工艺充分适配现有微流控加工设备体系：硅与玻璃芯片依赖 MEMS 加工线，需光刻、等离子刻蚀 / 化学刻蚀、阳极键合等设备；FR4 与 PMMA 芯片可通过数控微加工设备实现批量加工，降低对洁净室的依赖；PDMS 芯片则通过模具成型工艺，配合 PDMS 浇筑器、烘箱等设备完成制备，适合实验室快速验证方案（如 PDMS 芯片制备的初期原型测试）。

（A）重要微通道和芯片特征以及细胞的尺寸，（B）表达EGFP的MDA-MB-231细胞（460倍放大，在509nm处可视化），（C）相同细胞在可见光下的状态。

3.    关键测试与性能分析

研究通过电学、振动、热学、聚焦性能及细胞活力五大维度测试，全面评估材料性能，测试过程充分结合微流控芯片检测设备的行业标准。

测试装置：（A）振动测量，（B）热测量，（C）微粒和细胞聚焦。

1)    电学与振动性能：材料对 PZT 驱动的影响

声流体芯片的核心驱动力来自压电陶瓷（PZT）的振动，而芯片材料的机械阻抗直接影响 PZT 的电学阻抗与振动效率：

• 电学阻抗：硅、玻璃等声学硬材料因机械阻抗高，使 PZT 工作频率接近反共振点，阻抗高（硅达 4860Ω）、电流小，功耗低（硅仅 0.12W）；PDMS、PMMA 等聚合物材料则使 PZT 工作频率接近共振点，阻抗低（PDMS 双 PZT 仅 1596Ω）、电流大，功耗高（PDMS 双 PZT 达 1.27W）；FR4 介于两者之间，阻抗 3207Ω，功耗 0.24W，平衡驱动效率与能耗。
• 振动振幅：激光多普勒测振仪测试显示，PDMS、PMMA 芯片的 PZT 振动振幅是硅、玻璃的 2-4 倍，但高阻尼导致振动能量难以转化为有效声学场；FR4 振动振幅适中，阻尼低于聚合物，声学能量利用率更高。

附着在不同器件上的压电致动器的电阻抗振幅、位移振幅的FFT以及频率响应函数（每单位电压输入）：（A）硅、（B）玻璃、（C）FR4、（D）PDMS（单个PZT）、（E）PDMS（两个PZT）和（F）PMMA。

2)    热性能：对细胞培养的关键影响

芯片材料的热传导效率直接决定设备长期运行稳定性，尤其对细胞培养芯片至关重要：

• 热传导差异：硅（142W/mK）、玻璃（1.06W/mK）热传导优异，PZT 与芯片温差小（硅芯片 PZT 30.8℃、芯片 28.5℃）；PDMS（0.21W/mK）、PMMA（0.19W/mK）热传导差，PMMA 芯片 PZT 温度高达 100.8℃，易导致流体温度升高；FR4（0.34W/mK）热性能优于聚合物，PZT 温度 55.2℃，满足细胞培养的温度控制需求。
• 行业启示：聚合物芯片需配套温度控制单元，而硅、玻璃、FR4 芯片可直接用于长时间细胞实验（如器官芯片的 72 小时动态培养）。

（A）黑色胶带覆盖的PDMS（双PZT）器件，（B）放置在PZT和芯片区域用于温度测量的盒子，（C）不同声泳器件的PZT和芯片材料的平均测量温度。

3)    颗粒与细胞聚焦：核心功能验证

通过 12μm、2μm 聚苯乙烯微球及 MDA-MB-231 乳腺癌细胞（细胞培养芯片常用模型）的聚焦实验，验证材料的声操控能力：

• 微球聚焦：12μm 微球（40μL/min 流速）测试中，硅、玻璃、FR4 芯片聚焦率超 80%（即 80% 颗粒聚集于 10% 通道宽度内），PMMA 为 62%，PDMS 单 PZT 芯片无有效聚焦；2μm 微球（5μL/min 流速）测试中，硅、玻璃仍保持优异性能，FR4 聚焦率优于 PMMA，体现其对小尺寸颗粒的操控潜力。
• 细胞聚焦：仅硅、玻璃、FR4 芯片实现 MDA-MB-231 细胞的有效聚焦（20μL/min 流速），其中硅、玻璃聚焦率超 60%，FR4 达 57%，而 PDMS、PMMA 因热与声学性能不足，无法稳定聚焦，证明前三种材料可适配细胞分选芯片、循环肿瘤细胞检测等临床场景。

12 μm颗粒（40 μL/min）和2 μm颗粒（5 μL/min）的聚焦情况。

MDA-MB-231乳腺癌细胞的聚焦（20微升/分钟）。

使用不同芯片进行声泳聚焦后的细胞活力测量结果。

4)    细胞活力：生物兼容性评估

采用台盼蓝染色与 Countess II 自动细胞计数器测试，结果显示：硅、玻璃、FR4 芯片处理后的细胞活力超 75%（对照组 77.5%），而 PDMS 双 PZT 芯片因高温（芯片最高 88.8℃）导致细胞活力降至 69.4%，证明 FR4 在保证声学性能的同时，具备良好的生物兼容性，可用于器官芯片、3D 细胞培养芯片等对细胞活力要求高的场景。

4.    核心发现：材料性能与商业化潜力

1)    材料性能综合排序

从声学性能、热稳定性、细胞兼容性、制备成本四个维度综合评估，五种材料的表现为：硅≈玻璃＞FR4＞PMMA＞PDMS。其中，硅、玻璃适合高精度、高要求场景（如稀有细胞分选、临床诊断设备）；FR4 平衡性能与成本，是商业化的优选；PMMA、PDMS 适合实验室快速原型或低精度场景（如教学用微流控芯片）。

2)    FR4 的突破性价值

FR4 作为首次应用于声流体芯片的材料，其核心优势在于：

• 制备优势：无需洁净室，可通过现有 PCB 微加工设备实现批量生产，配合微流控加工设备（如自动打孔机），制备成本仅为硅芯片的 1/3；
• 性能优势：声学性能优于传统聚合物，热稳定性满足细胞培养需求，可直接集成于器官芯片、细胞共培养芯片等设备；
• 行业适配：兼容 MEMS 加工的二次优化（如表面修饰提升细胞黏附性），为微流控设备的量产提供新选择。

5.    行业应用与技术启示

1)    对微流控加工体系的影响

该研究为 MEMS 加工、微流控设备开发提供明确方向：硅、玻璃芯片需优化深硅刻蚀、光刻精度以降低成本；FR4 芯片可复用 PCB 生产线，推动微流控量产；PDMS 芯片需配套更精准的键合对准平台与温度控制单元，提升原型可靠性。

2)    应用场景拓展

• 临床诊断：硅、玻璃芯片用于循环肿瘤细胞检测、血液成分分离；
• 药物研发：FR4、玻璃芯片用于器官芯片（如肝芯片、肺芯片）的动态药效评估；
• 实验室研究：PDMS、PMMA 芯片用于快速验证声流体操控方案，降低研究门槛。

该研究通过对硅、玻璃、FR4、PDMS、PMMA 五种微流控声流体芯片材料的全面评估，不仅填补了材料性能对比的研究空白，更首次验证了 FR4 的应用潜力，为微流控设备的材料选择提供科学依据。在行业层面，研究成果将推动 MEMS 加工工艺优化、微流控设备升级（如 PDMS 芯片加工平台的温度控制改进），加速声流体技术从实验室走向临床与量产，助力细胞分选芯片、器官芯片等高端微流控产品的商业化落地。

参考文献：https://doi.org/10.1016/j.ultras.2022.106911

Dxfluidics Products

Product Code	Outline （mm）	Channel			Microporous membrane		Material	Price （CNY）
		Height （mm）	Width （mm）	Space （mm）	Thickness （um）	Hole diameter （um）
600001	30*15	0.5	1	0.2	25	8	PDMS	800
600002	30*15	0.5	1	0.5	25	8	PDMS	800

Ordering Methods