Bruker Dektak 150
测量原理：接触式探针扫描（机械探针+光学传感协同）。
核心功能：高精度表面台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、沟槽深度等形貌参数测量，兼容4/6/8英寸晶圆及不规则样品。
规格参数：
| model number | Dektak150（中端） |
| 垂直分辨率 | ≤1nm |
| 测量范围 | 1nm – 1mm |
| 最大样品尺寸 | 150mm（6英寸） |
| 扫描长度 | 55mm |
| 探针力 | 0.1mg – 30mg |
| 自动化能力 | 半自动 |
| 典型应用 | 科研、MEMS |
Bruker Dektak 150
测量原理：接触式探针扫描（机械探针+光学传感协同）。
核心功能：高精度表面台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、沟槽深度等形貌参数测量，兼容4/6/8英寸晶圆及不规则样品。
规格参数：
| model number | Dektak150（中端） |
| 垂直分辨率 | ≤1nm |
| 测量范围 | 1nm – 1mm |
| 最大样品尺寸 | 150mm（6英寸） |
| 扫描长度 | 55mm |
| 探针力 | 0.1mg – 30mg |
| 自动化能力 | 半自动 |
| 典型应用 | 科研、MEMS |
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