1.占地小、稳定性高、操作与维护方便
2.产能高，涂胶机产能大于160片/小时
3.光刻胶用量小，薄胶4寸用量0.5ml
4.优异的流场设计，涂胶均匀性好。
规格参数：
•1. 匀胶单元（COAT）
•数量：标配3个工位
•转速范围：
•自转：100-5000 RPM（闭环精准控制）
•膜厚均匀性：±2%（@5000 RPM）
•2. 烘胶单元（热盘/冷盘）
•热盘数量：6个独立温控工位
•温度范围：
•热盘：室温~300℃（±1℃）
•冷盘：10℃~室温
•加热速率：3分钟内升至200℃
•3. 滴胶系统
•滴胶量范围：0.1mL~10mL（可调）
•滴胶精度：±1%（高精度定量泵）
•滴胶方式：静态/动态模式可选
•4. 机械手
•定位精度：±0.1mm（重复定位）
•负载能力：≤5kg（适配2″-12″基片）
•运动速度：0.1-1m/s（可调）
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