型号：K-MAC ST2000-DLX
制造商：K-MAC
测量原理：基于分光反射法（Spectroscopic Reflectometry） 通过分析反射光谱或偏振光变化计算薄膜厚度及光学常数（n/k）。
核心优势：高精度、非接触测量，适用于透明/半透明/不透明薄膜的快速检测，支持单层及多层膜分析。
规格参数：
| 参数 | 规格 |
| 光谱范围 | 190nm – 1100nm（紫外-近红外，可扩展至1700nm） |
| 测量厚度范围 | 1nm – 100μm（取决于材料光学特性） |
| 厚度分辨率 | ≤0.1nm（SiO₂/Si 标准样品） |
| 重复性 | ≤±0.2nm（3σ，标准样品） |
| 光斑尺寸 | 10μm – 5mm 可调（最小可测微区） |
| 测量速度 | ≤1秒/点（全光谱扫描） |
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